[发明专利]用于激光束操纵的声光学偏转器和反射镜有效
| 申请号： | 201580077483.8 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN107430269B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张崇;I.A.萨拉马 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;杜荔南 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例指向用于激光束操纵的声光学偏转器和反射镜以及相关联的技术和配置。在一个实施例中，一种激光系统可以包括：声光学模块，用以当集成电路（IC）衬底处于激光束的路径中时在所述IC衬底上使所述激光束在所述激光束的第一扫描方向上偏转；以及反射镜，具有至少一个表面以接收来自所述声光学模块的所述激光束，所述反射镜要进行移动以控制所述激光束在第二扫描方向上的位置，其中所述第二扫描方向基本上垂直于所述第一扫描方向。可以描述和/或要求保护其他实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光束 操纵 声光 偏转 反射 | ||
【主权项】：
一种激光系统，包括：声光学模块，用以当集成电路（IC）衬底处于激光束的路径中时在所述IC衬底上使所述激光束在所述激光束的第一扫描方向上偏转；以及反射镜，具有至少一个表面以接收来自所述声光学模块的所述激光束，所述反射镜要进行移动以控制所述激光束在第二扫描方向上的位置，其中所述第二扫描方向基本上垂直于所述第一扫描方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英特尔公司，未经英特尔公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580077483.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
