[发明专利]衬底处理装置及衬底处理方法

摘要

本发明具有在形成于容器内部的升温部或降温部中的至少任一者处设置的衬底载置台和对衬底载置台的温度加以控制的温度控制部，所述衬底载置台与载置于载置面上的衬底之间进行热传递，所述温度控制部进行控制以使得在升温部设置有衬底载置台的情况下，在衬底被载置于衬底载置台之前，使衬底载置台的温度成为能够使将要搬入处理部的衬底升温至规定温度的温度；在降温部设置有衬底载置台的情况下，在衬底被载置于衬底载置台之前，使衬底载置台的温度成为能够使从处理部搬出的经过处理的衬底降温至规定温度的温度。

主权项

一种衬底处理装置，具有：容器，所述容器在内部形成有对衬底进行处理的处理部、使搬入所述处理部内的所述衬底升温的升温部、及使从所述处理部内搬出的经过处理的所述衬底降温的降温部；设置于所述升温部或所述降温部中的至少任一者处的衬底载置台，其与载置于载置面上的所述衬底之间进行热传递；和温度控制部，其对所述衬底载置台的温度加以控制，所述温度控制部进行控制以使得：在所述升温部设置有所述衬底载置台的情况下，在所述衬底被载置于所述衬底载置台之前，使所述衬底载置台的温度成为能够使将要搬入所述处理部的所述衬底升温至规定温度的温度，在所述降温部设置有所述衬底载置台的情况下，在所述衬底被载置于所述衬底载置台之前，使所述衬底载置台的温度成为能够使从所述处理部搬出的经过处理的所述衬底降温至规定温度的温度。