[发明专利]用于在钛钨靶材中的小结控制的方法和设备有效
| 申请号： | 201580067397.9 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN107109629B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 魏俊琪;曹志涛;欧岳生;阿南塔克里希纳·朱普迪;希兰库玛·萨万戴亚;王欣;斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开内容的实施方式包括用于控制钛‑钨(TiW)靶材小结形成的方法和设备。在一些实施方式中，靶材包括：源材料，所述源材料主要地包括钛(Ti)和钨(W)，所述源材料由钛粉末和钨粉末的混合物形成，其中主要数量的钛粉末的晶粒尺寸小于或等于主要数量的钨粉末的晶粒尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 钛钨靶材 中的 小结 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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