[发明专利]测定、使用和指示离子束工作性能的方法和装置

摘要

用于离子束样本制备和镀覆的装置中测定、使用和指示离子束工作性能的方法和装置。束探针可用于测量离子束一个部分的一种或多种工作特性，生成与一种或多种工作特性存在已知关系的探针信号。该束探针可生成与达到样本的喷镀涂层的一种或多种特性存在已知关系的信号。离子束装置可与从束探针处接收到的信号响应，调制一种或多种离子束特性。探针信号可用于离子束装置中，指示一种或多种离子束工作特性。相关装置和方法还可测量探针信号与离子束工作特性之间的已知关系。

主权项

一种制备样本的离子束装置，包括：a、一种离子束辐照工具，设置在指引宽离子束沿离子束中心轴的真空室中；b、所述宽离子束包括：指向所述样本的工作部分以及监测部分；c、所述离子束辐照工具为调制离子束辐照工具，用于提供选自下列清单中的至少两种水平的一种或多种离子束特性，包括：i.离子的瞬时电流；ii.离子的瞬时流量；iii.中子的瞬时流量；iv.离子的时间平均电流；v.离子的时间平均流量；vi.中子的时间平均流量；vii.离子的综合电流；viii.离子的综合流量；ix.中子的综合流量；x.离子的瞬时能量；xi.离子的时间平均能量；xii.离子的综合能量；xiii.离子的瞬时能量分布；xiv.离子的时间平均能量分布；xv.离子的综合能量分布；d、所述工作部分的特征在于，其具有选自所述离子束特性的所述清单中的一种或多种工作部分特性；e、所述监测部分特性在于，其具有选自所述离子束特性的所述清单中的一种或多种监测部分特性；f、一种样本停留台，配置用于将所述样本保持在根据离子束中心轴预先确定的位置及方位；g、一种束探针，设置用于接收宽离子束的所述监测部分；h、所述束探针用于充分接收所述监测部分而不改变所述宽离子束的工作部分；i、所述束探针用于生成与一种或多种监测部分特性响应的探针信号；j、所述离子束辐照工具通过调制选自所述离子束特性的所述清单中的一种或多种离子束特性，与接收所述探针信号响应。