[发明专利]投影光学系统、曝光装置和器件制造方法

摘要

提供一种将物体的图像投影到像面上的投影光学系统。投影光学系统包括：包含第一凹面镜、凸面镜和第二凹面镜的成像光学系统；具有各自重新引导光路的第一反射表面和第二反射表面的光学部件；和支撑凸面镜的支撑部件。第一反射表面、第一凹面镜、凸面镜、第二凹面镜和第二反射表面在来自物面的光的行进方向上按顺序被设置。光学部件具有在面向凸面镜的一侧具有开口的通孔。支撑部件延伸贯穿通孔并且从开口延伸到凸面镜。

主权项

1.一种将物体的图像投影到像面上的投影光学系统，投影光学系统包括：成像光学系统，包含凹面镜和凸面镜，所述凹面镜具有第一凹面反射表面和第二凹面反射表面；光学部件，具有各自重新引导光路的第一反射表面和第二反射表面；和支撑部件，支撑凸面镜，其中第一反射表面、第一凹面反射表面、凸面镜、第二凹面反射表面和第二反射表面在来自物面的光的行进方向上按顺序被设置，其中支撑部件延伸贯穿所述光学部件的凸面镜侧的开口，该开口对应于光学部件的通孔，其中，当从第一凹面反射表面或第二凹面反射表面一侧观看投影光学系统时，支撑部件的在凸面镜与光学部件之间延伸的部分被整形，使得该部分的外周处于凸面镜的外周的内侧。