[发明专利]阀在审
| 申请号： | 201580058536.1 | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107076331A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 张兆宏;松田隆博 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | F16K31/165 | 分类号： | F16K31/165;F16K35/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 张晶,谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阀，即使因错误而供给操作流体也不会成为开启状态，可抑制气体因意外供给至半导体制造装置等。阀(1)具备主体(4)，形成有流体流入路(4b)及流体流出路(4c)；隔膜(7)，用于流体流入路(4b)及流体流出路(4c)的开闭；心柱(9)，为了以隔膜(7)使流体流入路(4b)及流体流出路(4c)开闭，设置成可相对于隔膜(7)接近及离开地移动；与主体(4)连接的阀帽(5)及阀盖(6)；驱动单元(活塞(10)、操作流体导入室(10a)、操作流体导入路(10b)及第一压缩螺旋弹簧(11))，设置于阀帽(5)及阀盖(6)并通过从外部供给的操作流体来驱动心柱(9)；及阀机构(20)，设置在阀帽(5)及阀盖(6)，可开闭朝驱动单元之操作流体的通路。 | ||
| 搜索关键词： | 阀 | ||
【主权项】：
一种阀，具备：主体，形成有流体通路；阀芯，用于上述流体通路的开闭；心柱，为了以上述阀芯使上述流体通路开闭，设置成可相对于上述阀芯接近及离开地移动；致动器，具有与上述主体连接的壳体、以及设置于上述壳体内并通过从外部供给的操作流体来驱动上述心柱的驱动单元，阀机构，设置在上述壳体，可开闭朝上述驱动单元之操作流体的通路。
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