[发明专利]多电子束检查装置有效
| 申请号： | 201580057918.2 | 申请日： | 2015-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN107112183B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | P·克瑞特 | 申请（专利权）人： | 代尔夫特工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检查样本的表面的组件。该组件包括两个或更多个多束电子柱单元。每个单元包括：单个热场发射器，用于朝向分束器发射发散的电子束；其中分束器包括第一多孔板，该第一多孔板包括用于创建多个初级电子束的多个孔；准直器透镜，用于将来自发射器的发散的电子束准直；物镜单元，用于将所述多个初级电子束聚焦在所述样本上；以及多传感器检测器系统，用于分开地检测由所述经聚焦的初级电子束中的每个在所述样本上创建的次级电子束的强度。两个或更多个多束电子柱单元布置为彼此相邻，用于同时检查样本的表面的不同部分。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查样本的表面的组件，其中所述组件包括两个或更多个多束电子柱单元，每个多束电子柱单元包括：单个热场发射源，用于朝向分束器发射发散的电子束，其中所述分束器包括第一多孔板，所述第一多孔板包括布置成用于创建多个初级电子束的第一多个孔，所述第一多个孔中的每个孔创建一个初级电子束，准直器透镜，用于将来自发射器的发散的电子束准直，物镜单元，用于将所述多个初级电子束聚焦在所述样本上，其中所述物镜单元包括用于将所述多个初级电子束聚焦在所述样本的表面上的第二静电透镜阵列，其中所述第二静电透镜阵列至少包括第二多孔板，其中在使用中的所述第二多孔板的每个孔都包括静电透镜，以及多传感器检测器系统，用于分开地检测由所述经聚焦的初级电子束中的每一个在所述样本上创建的次级电子束的强度，其中所述两个或更多个多束电子柱单元布置为彼此相邻，并且布置成将它们的多个初级电子束聚焦到所述样本的表面上，用于同时检查所述样本的表面的不同部分。
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