[发明专利]形成具有低磁噪声的超导布线层的方法

摘要

在约瑟夫逊结多联层上制造布线层可以包括：去除所述多联层的一部分；沉积绝缘层以便覆盖在所述多联层的一部分上；以及对所述绝缘层进行图案化以便在所述绝缘层中限定孔。所述方法包括在所述绝缘层的一部分上并且在所述孔的一部分内沉积第一超导布线层。进一步，可以沉积绝缘层和布线层并且限定最顶部布线层。所述方法包括沉积钝化层以便覆盖在所述最顶部布线层上。制造包括混合电介质系统的超导集成电路可以包括沉积覆盖在超导特征上的高品质电介质层。所述方法包括沉积覆盖在所述高品质电介质层的至少一部分上的第二电介质层。所述第二电介质层可以包括常规电介质材料。

主权项

一种制造约瑟夫逊结的方法，所述方法包括：沉积内超导层，所述内超导层包括在临界温度范围内为超导性的材料；形成覆盖在所述内超导层的至少一部分上的氧化物层；沉积外超导层以便覆盖在所述氧化物层的至少一部分上，所述外超导层包括在临界温度范围内为超导性的材料；去除所述外超导层的一部分以便从所述外超导层中形成至少一个结构；沉积第一绝缘层以便覆盖在所述外超导层的一部分上；去除所述第一绝缘层的一部分以便限定穿过所述第一绝缘层的第一孔；沉积覆盖在所述第一绝缘层的一部分上并且在所述第一孔的一部分内的第一超导布线层，其中，第一超导布线层包括在临界温度范围内为超导性的材料；去除所述第一超导布线层的一部分；沉积第二绝缘层以便覆盖在所述第一超导布线层的一部分上；沉积顶部超导布线层以便覆盖在所述第二绝缘层的一部分上；去除所述顶部超导布线层的一部分；以及沉积钝化层以便覆盖在所述顶部超导布线层的一部分上。