[发明专利]具有视觉引导对准的电气测试系统

摘要

一种电气测试系统适于对在基板卷材的连续框架上制造的装置执行电气测试，每个框架包括多个基准标记。数字成像系统捕获框架的数字图像，分析所述数字图像以确定一组测试焊盘的位置与所述基准标记的位置之间的空间关系。所述框架前进到电气测试夹具，所述电气测试夹具包括适于与所述测试焊盘进行电气接触的一组测试探针。包括多个基准传感器的基准感测系统确定所述基准标记的位置。响应于所确定空间关系以及所确定基准标记位置调整所述电气测试夹具的所述位置，使得所述测试探针与对应测试焊盘对准，并且执行所述装置的电气测试。

主权项

1.一种电气测试系统，其被配置来测试在基板卷材的连续框架上制造的一系列装置，每个框架包括多个基准标记以及具有一系列测试焊盘的装置，所述电气测试系统包括：卷材传送系统，其用于使所述基板卷材沿着卷材传送路径前进；电气测试夹具，其包括适于与所述基板卷材上的特定装置的所述测试焊盘进行电气接触的一组测试探针；测试仪器，其与该组测试探针相关联；数字成像系统，其被配置来捕获包括所述特定装置的所述测试焊盘以及所述基准标记的特定框架的至少一部分的数字图像；基准感测系统，其包括多个基准传感器，每个基准传感器适于感测相关联的基准标记的位置；以及控制器，其被配置来：分析由所述数字成像系统捕获的数字图像，以确定所述捕获的数字图像中测试焊盘的位置与所述基准标记的位置之间的空间关系；使用所述基准感测系统确定所述基准标记的位置；响应于测试焊盘的位置与所述基准标记的位置之间的所述确定的空间关系以及所述基准标记的确定的位置调整所述电气测试夹具的位置，使得所述测试探针与对应的测试焊盘对准；移动所述测试探针，使所述测试探针与所述测试焊盘电气接触；以及使用所述测试仪器执行所述特定装置的电气测试。