[发明专利]形状测量装置以及形状测量方法有效
| 申请号： | 201580052827.X | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106796104B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 高桥裕树;关博之;上原正广 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;朱丽娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供形状测量装置等，能够在利用光以非接触的方式测量呈球面状的被测量面的形状时，减小与测长距离对应的误差而进行高精度的形状测量。形状测量装置(1)具有：保持件(12)，其保持测量对象物(20)；传感器(7)，其对被测量面(21)照射光并以非接触的方式测量与该被测量面(21)之间的距离；编码器(5)，其使传感器(7)绕中心轴(R1)旋转；滑轨(4)和杆(6)，它们是使传感器(7)在与中心轴(R1)垂直的轴(R2)上移动的传感器移动机构，且能够使传感器(7)跨越与中心轴(R1)的交点的两侧而移动；XYZ载物台，其使保持件(12)沿着Z轴移动并在XY面内移动；以及控制装置(14)，其根据从传感器(7)输出的测量值来计算被测量面(21)的球心的位置，并进行使该球心的位置与传感器(7)的旋转中心(C)一致的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 装置 以及 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种形状测量装置，其测量具有呈球面状的被测量面的测量对象物的该被测量面的形状，其特征在于，该形状测量装置具有：保持件，其保持所述测量对象物；传感器，其通过对所述被测量面照射光，以非接触的方式测量与所述被测量面之间的距离并输出测量值；传感器旋转机构，其使所述传感器绕第1轴旋转；传感器移动机构，其使所述传感器在与所述第1轴垂直的第2轴上移动，能够使所述传感器跨越与所述第1轴的交点的两侧而移动；保持件移动机构，其使所述保持件沿着与铅直方向平行的第3轴移动，并且使所述保持件在与该第3轴垂直的面内移动；以及控制装置，其根据从所述传感器输出的所述测量值，计算所述被测量面的形状，并且计算该被测量面的球心的位置，对于所述保持件移动机构进行使所述球心的位置与所述第1轴和所述第2轴的所述交点一致的控制。
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