[发明专利]锍盐、光产酸剂及感光性组合物

摘要

本发明提供对活性能量射线的敏感度高的新型锍盐、由该锍盐形成的光产酸剂、及含有该光产酸剂的感光性组合物。本发明涉及的锍盐由式(a1)表示。式中，R1和R2独立地表示可被卤素原子取代的烷基或式(a2)表示的基团，R1和R2可相互键合并与式中的硫原子共同形成环，R3表示式(a3)表示的基团或式(a4)表示的基团，A1表示S等，X‑表示1价的阴离子，其中，R1和R2不会同时为可被卤素原子取代的烷基。式(a2)～(a4)中，环Z1表示芳香族烃环，R4、R6、R9、和R10表示特定的1价基团，R5、R7、和R8表示特定的2价基团，A2及A3表示S等，m1表示0以上的整数，n1和n2表示0或1。

主权项

下述通式(a1)表示的锍盐，[化学式1]式(a1)中，R1和R2独立地表示可被卤素原子取代的烷基或下述通式(a2)表示的基团，R1和R2可相互键合并与式中的硫原子共同形成环，R3表示下述通式(a3)表示的基团或下述通式(a4)表示的基团，A1表示S、O、或Se，X‑表示1价的阴离子，其中，R1和R2不会同时为可被卤素原子取代的烷基，[化学式2]式(a2)中，环Z1表示芳香族烃环，R4表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、烷氧基羰基、酰氧基、烷基硫基、噻吩基、噻吩基羰基、呋喃基、呋喃基羰基、硒吩基、硒吩基羰基、杂环式脂肪族烃基、烷基亚磺酰基、烷基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m1表示0以上的整数，[化学式3]式(a3)中，R5表示亚烷基或者下述通式(a5)表示的基团，所述亚烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，R6表示烷基或者下述通式(a6)表示的基团，所述烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，A2表示单键、S、O、亚磺酰基、或羰基，n1表示0或1，[化学式4]式(a4)中，R7和R8独立地表示亚烷基或者下述通式(a5)表示的基团，所述亚烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，R9和R10独立地表示可被卤素原子取代的烷基或上述通式(a2)表示的基团，R9和R10可相互键合并与式中的硫原子共同形成环，A3表示单键、S、O、亚磺酰基、或羰基，X‑如上所述，n2表示0或1，其中，R9和R10不会同时为可被卤素原子取代的烷基，[化学式5]式(a5)中，环Z2表示芳香族烃环，R11表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m2表示0以上的整数，[化学式6]式(a6)中，环Z3表示芳香族烃环，R12表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、噻吩基羰基、呋喃基羰基、硒吩基羰基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m3表示0以上的整数。