[发明专利]用于沉积钛氧化物涂层的化学气相沉积工艺有效
| 申请号： | 201580048656.3 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106687423B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | S·瓦拉纳西;J·倪;D·M·尼尔森 | 申请（专利权）人： | 皮尔金顿集团有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 谭冀 |
| 地址： | 英国兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供用于沉积钛氧化物涂层的化学气相沉积工艺。该用于沉积钛氧化物涂层的化学气相沉积工艺包括提供玻璃基材。形成气态混合物。该气态混合物包括含钛化合物和含氟化合物。该含钛化合物是含氧化合物，或该气态混合物包括第一含氧化合物。引导该气态混合物朝向并沿着该玻璃基材。使该混合物在该玻璃基材上方反应以在其上形成钛氧化物涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 氧化物 涂层 化学 工艺 | ||
【主权项】：
用于沉积钛氧化物涂层的化学气相沉积工艺，其包括：提供玻璃基材；形成包含含钛化合物和含氟化合物的气态混合物，其中该含钛化合物是含氧化合物，或该气态混合物包括第一含氧化合物；和引导该气态混合物朝向并沿着该玻璃基材，并且使该混合物在该玻璃基材上方反应以在其上形成该钛氧化物涂层。
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