[发明专利]谐振膜气体传感器及用于其的非暂时机器可读存储介质

摘要

一种气体传感器(200)包含腔体(214)并且被配置成感测所述腔体(214)中的气体混合物的摩尔质量、密度和粘度中的至少一个。此外，多个例示性实施例涉及一种用于测量二氧化碳(CO₂)水平的装置，其包括：第一振荡器组(520)，其包含用于测量空气压力的第一传感器(250)，其中所述第一传感器(250)包含第一密封膜(252)，并且其中所述第一密封膜(252)覆盖密封的第一腔体(258)；第二振荡器组(522)，其包括用于测量第二未密封振荡膜(210)的谐振频率(f2)的第二传感器(200)，并且其中所述第二未密封膜(210)覆盖与所述第二传感器(200)外部的空气接触的第二腔体(214)。

主权项

1.一种用于测量气体混合物的装置，包括：/n第一振荡器回路(520)，其包括压力传感器(250)；/n第二振荡器回路(522)，其包括气体传感器(200)；/n混合器(514)，其接受从所述第一振荡器回路(520)输出的第一频率测量结果和从所述第二振荡器回路(522 )输出的第二频率测量结果作为输入，并输出所述第一频率测量结果和所述第二频率测量结果的差值；以及/n电路(515)，其耦合到所述混合器(514)的输出；/n其中所述压力传感器(250)包括密封腔(258)和密封膜(252)，所述密封膜(252)由所述压力传感器(250)外部的气体混合物与所述压力传感器(250)的所述密封腔(258)内的气体混合物或真空之间的压力差而偏斜；/n其中所述气体传感器(200)包括腔体(214)和未密封振荡膜(210)，所述未密封振荡膜(210)覆盖与所述气体传感器(200)外部的气体混合物接触的腔体(214)；/n其中所述气体混合物能够通过所述未密封振荡膜(210)的至少一个开口(212)从所述气体传感器(200)的外部流向所述腔体(214)，并且/n其中所述气体传感器(200)被配置成感测所述腔体(214)中的气体混合物的摩尔质量、密度和粘度中的至少一个。/n