[发明专利]使用单片带宽窄化设备的激光组合件及检验系统

摘要

一种脉冲UV激光组合件包含：部分反射器或分束器，其将每一基频脉冲分割成两个子脉冲且将一个子脉冲引导到布拉格光栅的一端且将另一脉冲引导到所述布拉格光栅的另一端(或另一布拉格光栅)，使得两个子脉冲都被拉伸且接收相反(正及负)频率啁啾。所述两个经拉伸子脉冲经组合以产生和频光，其具有比可由直接来自所述基频的二次谐波产生而获得的带宽窄的带宽。可直接从所述和频光或从并入所述和频光的谐波转换方案产生UV波长。所述UV激光可进一步并入其它带宽减小方案。所述脉冲UV激光可用于检验或计量系统中。

主权项

一种激光组合件，其包括：基频激光器，其经配置以产生具有安置于基频带宽内的基频的激光脉冲；脉冲分割元件，其经配置以将每一激光脉冲分割成包含第一子脉冲及第二子脉冲的一对对应子脉冲；至少一个单片装置，其经配置使得每一对对应子脉冲的所述第一子脉冲被转换成具有正啁啾的第一经拉伸子脉冲，且经配置使得每一对对应子脉冲的所述第二子脉冲被转换成具有负啁啾的第二经拉伸子脉冲；及混频模块，其经配置以使每一第一经拉伸子脉冲与其对应所述第二经拉伸子脉冲混合，使得所述混合产生包含和频脉冲的和频光，所述和频脉冲具有等于所述基频两倍的频率。