[发明专利]用于对电荷储存器件进行测试的测量仪器在审
| 申请号： | 201580040482.6 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN106574942A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 伊恩·W·汉特;格兰特·W·科瑞斯托弗克;迪安·柳比西奇 | 申请（专利权）人： | 核科学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/01 | 分类号： | G01R31/01;G01R31/36;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所11330 | 代理人： | 王荣 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于具有多个导电接触焊盘的样本的测试仪器，所述仪器包括可控的、可变的力线性致动器；由线性致动器操作的探头组件，所述的探头组件一端的探头具有表面，用于接触样本；可移动的接触器组件包括多个触点，用于电接触样本上的多个接触焊盘；线性致动器和接触器组件安装在壳体上，所述壳体具有用于在测试期间夹持样本的标识区域；位置传感器组件，用于测量探头位置的变化；以及用于测量探头施加到样本上的力的传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电荷 储存 器件 进行 测试 测量 仪器 | ||
【主权项】：
一种用于具有多个导电接触焊盘的样本的测试仪器，所述仪器包括：可控的、可变的力线性致动器；由线性致动器操作的探头组件，所述的探头组件一端的探头具有表面，用于接触样本；可移动的接触器组件包括多个触点，用于电接触样本上的多个接触焊盘；线性致动器和接触器组件安装在壳体上，所述壳体具有用于在测试期间夹持样本的标识区域；位置传感器组件，用于测量探头位置的变化；以及用于测量探头施加到样本上的力的传感器。
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