[发明专利]使用非圆形激光光束来处理材料

摘要

一种利用脉冲激光来处理材料的方法，包括产生一系列超短激光脉冲(22)，通过限定地参照处理路径(25)中的相应分配的处理点(26)，将各激光脉冲(22)引导到所述材料(1)，以及将各激光脉冲(22)聚焦成使得聚焦后的激光脉冲(22)的相应焦点包括对材料(1)的第一表面(2)的预限定的空间关系，其中，各发射的激光脉冲(22)在所述材料(1)内实现相应的裂纹(24)。根据本发明，将各激光脉冲关于其光束轮廓成形，以使得由所述激光脉冲的在其焦点处的与其传播方向正交的截面限定的截面区域(11，31)具有特定形状具有比次延伸轴线大的延伸的主延伸轴线(A)。由各激光脉冲(22)实现一个主裂纹(24)，主裂纹(12，24)具有基本上根据相应脉冲的在焦点处的主延伸轴线(A)来取向的横向延伸。此外，发射各激光脉冲(22)，以使得在焦点处其主延伸轴线(A)的取向对应于预限定的取向，该预限定的取向与处理路径(25)在所述分配的处理点(26)处的相应切线的取向相关。

主权项

一种利用脉冲激光来处理材料(1)的方法，具体地该材料(1)相对于该脉冲激光的波长是透明的或半透明的，所述方法包括以下步骤：·产生一系列超短激光脉冲(22，22')，具体地该激光脉冲(22，22')具有小于1ns的脉冲持续时间，具体地为皮秒激光脉冲或飞秒激光脉冲，·通过限定地参照处理路径(25)中的相应分配的处理点(26)，将各激光脉冲(22)引导到所述材料(1)，以及·对各激光脉冲(22)聚焦，以使得聚焦后的激光脉冲(22)的相应焦点包括对材料(1)的第一表面(2)的预限定的空间关系，其中，各发射的激光脉冲(22)在所述材料(1)内实现相应的裂纹，所述方法的特征在于，·对各激光脉冲关于其光束轮廓成形，以使得由所述激光脉冲的在其焦点处的与其传播方向正交的截面限定的截面区域(11，31)具有特定形状并且具有比次延伸轴线(B)显著大的延伸的主延伸轴线(A)，具体地所述次延伸轴线(B)与所述主延伸轴线(A)正交，·由各激光脉冲(22)实现一个主微裂纹(12，24)，所述主微裂纹(12，24)具有横向延伸，该横向延伸о基本上根据在所述焦点处相应脉冲的所述主延伸轴线(A)的取向来取向，并且о显著大于所述焦点处的所述截面区域(11，31)的相应主延伸轴线(A)的延伸，所述横向延伸在相应主延伸轴线(A)的长度的3‑30倍的范围内，以及·发射各激光脉冲(22)，以使得在所述焦点处各激光脉冲(22)的所述主延伸轴线(A)的取向对应于预限定的取向，该预限定的取向与所述处理路径(25)在所述分配的处理点(26)处的相应切线的取向相关。