[发明专利]声波器件、以及使用该声波器件的天线双工器、模块和通信装置

摘要

一种声波器件，包括：衬底(12)；叉指换能器电极(13)，设置在所述衬底的上表面上；第一布线电极(14、15)，设置在所述衬底的上表面上，并连接到所述IDT电极；电介质膜(16)，不覆盖所述第一布线电极的第一区域(18)、但覆盖所述衬底上方的所述第一布线电极的第二区域(19)，所述第一布线电极包括所述第二区域(19)中的切口；以及第二布线电极(17)，覆盖所述第一区域中的所述第一布线电极的上表面和所述衬底上方的所述第二区域中的所述电介质膜的上表面。所述电介质膜(16)可具有某一膜厚度(T2)和由于下面的切口而导致的逐渐变小的厚度(T1)。该逐渐变小的厚度可以保护IDT电极(13)免受化学降解和机械损坏。

主权项

一种声波器件，包括：衬底；叉指换能器(IDT)电极，设置在所述衬底的上表面上；第一布线电极，设置在所述衬底的上表面上，并连接到所述IDT电极；电介质膜，在第一区域中设置在所述衬底的上表面上，并且在第二区域中设置在所述第一布线电极上并且覆盖所述第一布线电极，所述电介质膜被设置以使得它在第一区域中不在所述第一布线电极上延伸并且不覆盖所述第一布线电极，所述第一布线电极包括所述第二区域中的切口；以及第二布线电极，在所述第一区域中设置在所述第一布线电极的上表面上并且覆盖所述第一布线电极的上表面，并且在所述衬底上方的所述第二区域中设置在所述电介质膜的上表面上并且覆盖所述电介质膜的上表面。