[发明专利]烷撑二醇单烷基醚的分离回收方法、抗蚀剂组合物处理废液的再利用方法和抗蚀剂组合物处理液的循环使用方法有效
| 申请号： | 201580033942.2 | 申请日： | 2015-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106660914B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 三河泰广;绪方不二麿 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C07C41/42 | 分类号： | C07C41/42;B01D3/00;C07C41/44;C07C43/13;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 李照明;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供，从含有烷撑二醇单烷基醚及其对应的羧酸酯，且包含其他溶剂的溶剂混合物中以高纯度且高收率分离回收烷撑二醇单烷基醚的方法。通过向包含烷撑二醇单烷基醚(第一溶剂)、与烷撑二醇单烷基醚(第一溶剂)对应的烷撑二醇单烷基醚羧酸酯(第二溶剂)、以及与烷撑二醇单烷基醚(第一溶剂)和烷撑二醇单烷基醚羧酸酯(第二溶剂)不同的溶剂(第三溶剂)的溶剂混合物中添加碱性化合物，从而将烷撑二醇单烷基醚羧酸酯(第二溶剂)皂化、转变为烷撑二醇单烷基醚(第一溶剂)，然后通过蒸馏来回收烷撑二醇单烷基醚(第一溶剂)。 | ||
| 搜索关键词： | 烷撑二醇单 烷基 分离 回收 方法 抗蚀剂 组合 处理 废液 再利用 循环 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种烷撑二醇单烷基醚的分离回收方法，其特征在于，是从包含第一溶剂、第二溶剂和第三溶剂的第一溶剂混合物中分离回收第一溶剂的方法，所述第一溶剂由下述通式(I)表示，所述第二溶剂由下述通式(II)表示，所述第三溶剂与所述第一溶剂和第二溶剂不同，R(OR')nOH (I)R(OR')nOCOR” (II)在通式(I)和通式(II)中，R表示碳原子数为1～4的烷基，R’表示碳原子数为2～4的亚烷基，R”表示碳原子数为1～2的烷基，通式(I)和通式(II)中的R是相同的，通式(I)和通式(II)中的R’也是相同的，n为1或2，该分离回收方法包括下述第一工序和第二工序，第一工序：通过向所述第一溶剂混合物中添加碱性化合物，将所述第二溶剂皂化、转变为第一溶剂，从而获得第二溶剂混合物，第二工序：将所述第二溶剂混合物蒸馏，回收第一溶剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昭和电工株式会社，未经昭和电工株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580033942.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
