[发明专利]微光机电设备及其制造方法

摘要

一种微光机电设备，包括主体(20)、反射镜元件(23、27)以及能够将反射镜元件(23、27)柔性支承在主体(20)上的弹簧结构(28a、29a)。弹簧结构包括能够引起弹簧结构的位移的至少一个压电换能器(29a)，该位移使得反射镜元件(23、27)移动。

主权项

1.一种微光机电扫描设备，包括主体(20)、反射镜元件(23、27)以及能够将所述反射镜元件(23、27)柔性支承在所述主体(20)上的弹簧结构(28a、29a)，所述反射镜元件包括由反射镜基部(23)上的平坦反射表面构成的反射镜(24)，所述反射镜(24)在静止时的平面方向是第一方向；所述主体(20)至少部分地外接所述反射镜元件，所述主体(20)的表面与所述反射镜(24)的平面对齐，并且所述反射镜(24)与所述主体的表面间隔一个空隙(26)；所述反射镜元件包括两个或更多个基座(27)；所述弹簧结构包括弯曲弹簧(28a)，其中，每个弯曲弹簧(28a)通过第一连接点(21)连接到所述主体以及通过第二连接点(22)连接到一个基座(27)；每个基座(27)在所述第二连接点(22)与在所述反射镜基部(23)中与所述反射镜(24)相对的第三连接点(202)之间延伸；每个基座(27)能够在垂直于所述第一方向的方向上刚性地保持所述第二连接点(22)与所述第三连接点(202)之间的非零距离；所述弹簧结构包括压电换能器(29a)，所述压电换能器能够引起所述弯曲弹簧中的每一个的位移，该位移使得所述弯曲弹簧的所述第二连接点(22)至少在垂直于所述第一方向的方向上移动；所述弯曲弹簧(28)中的每一个位于所述反射镜(24)的表面区域内并且位于该表面区域下方，并且具有在所述反射镜(24)的平面上的非零投影；以及所述反射镜基部(23；43；53)还包括切口(41；51)，每个切口环绕一个弯曲弹簧在所述反射镜基部中的投影的至少一部分，使得所述反射镜基部的倾斜在垂直于所述第一方向的方向上能够超出所述弯曲弹簧的平面。