[发明专利]陀螺仪传感器和电子装置有效
| 申请号： | 201580033353.4 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106461393B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 本多顺一 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;G01C19/5628;H01L41/08;H01L41/113 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;谢雪闽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | [问题]提供一种能在振幅相同的情况下提高灵敏度的陀螺仪传感器以及具有该陀螺仪传感器的电子装置。[解决方案]根据本发明的一个实施方式的陀螺仪传感器包括：振子；第一压电功能层，所述第一压电功能层包括第一电极对、和布置在所述第一电极对之间的第一压电膜，所述第一压电功能层被布置在所述振子的表面上，并能够使所述振子在垂直于所述表面的第一轴方向上振动；以及第二压电功能层，所述第二压电功能层包括第二电极对、和布置在所述第二电极对之间的第二压电膜，所述第二压电功能层被布置在所述第一压电功能层的上方，并能够与所述第一压电功能层同步地使所述振子在所述第一轴方向上振动。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺仪 传感器 电子 装置 | ||
【主权项】：
1.一种陀螺仪传感器，包括：/n振子；/n第一压电功能层，所述第一压电功能层包括第一电极对、和布置在所述第一电极对之间的第一压电膜，所述第一压电功能层被布置在所述振子的表面上，并能够使所述振子在垂直于所述表面的第一轴方向上振动；/n第二压电功能层，所述第二压电功能层包括第二电极对、和布置在所述第二电极对之间的第二压电膜，所述第二压电功能层被布置在所述第一压电功能层的上方，并能够与所述第一压电功能层同步地使所述振子在所述第一轴方向上振动；以及/n中间绝缘膜，所述中间绝缘膜位于所述第一压电功能层和所述第二压电功能层之间。/n
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