[发明专利]性能增强的基于金属的光学镜面基材有效
申请号: | 201580031993.1 | 申请日: | 2015-04-09 |
公开(公告)号: | CN106460146B | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | J·C·克里法斯;G·A·哈特;R·M·沃尔顿;L·G·万博尔特;J·王 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58;G02B5/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐鑫;项丹 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
提供了对基材进行涂覆的方法。该方法包括:用金刚石将基材车削到约为 |
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搜索关键词: | 性能 增强 基于 金属 光学 基材 | ||
【主权项】:
一种对基材进行涂覆的方法,所述方法包括:将基材金刚石车削到约为RMS的表面粗糙度,其中,所述基材是金属和金属合金中的一种;将经金刚石车削的基材表面抛光至约为的表面粗糙度,以形成经抛光基材;加热所述经抛光基材;用惰性气体离子轰击所述基材;使用低压磁控管喷溅,在经离子轰击的基材表面上沉积包括至少一层金属层的涂层;以及采用基于二醇的胶态溶液来抛光所述涂层,以形成表面粗糙度小于约RMS的经精整表面。
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