[发明专利]振动型角速度传感器

摘要

振动型角速度传感器，在将固定部(20)与可动部(30)以及梁部(40)进行连结的部分具备防振弹簧构造(25)。通过这样的构造，例如在由外部冲击等引起的共振频率比驱动振动、检测振动的共振频率(驱动频率、检测频率)小的无用振动模式时，与梁部相比主要防振弹簧构造进行变形，能够抑制梁部的变形。而且，当在为框体构造的可动部以及梁部的中心支撑部配置防振弹簧构造时，与将检测梁直接固定于固定部的情况相比，通过防振弹簧构造位移使检测梁与防振弹簧构造的连结场所的位移变大。因此，能够在角速度施加时通过振动检测部基于检测梁的更大的变形进行角速度检测，能够进一步提高检测精度。

主权项

1.一种振动型角速度传感器，具有：固定部(20)，相对于基板(10)固定；可动部(30)，以上述固定部为中心配置在上述基板的平面上的沿着一个方向的第一轴的两侧，具有起到驱动锤以及检测锤的作用的驱动兼检测用锤(31、32)；梁部(40)，具有检测梁(41)、支撑部件(43)、和驱动梁(42)，由上述驱动梁、上述支撑部件以及上述驱动兼检测用锤形成框体构造，上述检测梁(41)相对于上述固定部被支撑，以上述固定部为中心延伸配置在上述基板的平面上的与上述第一轴垂直的第二轴的两侧，上述支撑部件(43)配置在上述检测梁中的与上述固定部相反侧的前端，并且相对于上述检测梁交叉，上述驱动梁(42)支撑于上述支撑部件，并且夹着上述检测梁而配置在上述第一轴的两侧，对上述驱动兼检测用锤进行两端支持；以及防振弹簧构造(25)，配置在上述检测梁与上述固定部之间，构成为能够沿着上述第一轴以及上述第二轴进行变形，使配置在上述固定部的两侧的上述驱动兼检测用锤以上述固定部为中心在上述第一轴上向相互相反方向驱动振动，基于随着角速度的施加而上述驱动兼检测用锤在上述基板的平面上沿着上述第二轴也进行振动，从而进行角速度检测。