[发明专利]用于表征仪表误差的方法和装置有效
| 申请号： | 201580029633.8 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106687763B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 肖少军 | 申请（专利权）人： | 泰勒-霍普森有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 宁晓;郑霞 |
| 地址： | 英国莱*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种用于表征表面测量仪表中的仪表误差的方法，包括获得表示第一参考对象的已知表面形式的第一校准测量数据，和获得表示第二参考对象的已知表面形式的第二校准测量数据。第二校准测量数据的至少一部分表示测量范围，其与第一校准测量数据的测量范围的至少一部分重叠。获得表征仪表误差的共同误差函数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表征 仪表 误差 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于表征表面测量仪表中的仪表误差的方法，所述方法包括：获得表示第一参考对象的已知表面形式的第一校准测量数据；获得表示第二参考对象的已知表面形式的第二校准测量数据，其中所述第二校准测量数据的至少一部分表示与所述第一校准测量数据的测量范围的至少一部分重叠的测量范围；将包括所述第一参考对象的所述已知表面形式、所述第二参考对象的所述已知表面形式和所述仪表误差的期望形式的模型拟合到所述第一校准测量数据和所述第二校准测量数据两者，以确定：描述所述第一参考对象的所述已知表面形式的第一参数；描述所述第二参考对象的所述已知表面形式的第二参数；以及表示所述仪表误差的共同误差函数；其中，通过将所述模型拟合到所述第一校准测量数据和所述第二校准测量数据两者所获得的所述共同误差函数表征所述仪表误差。
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