[发明专利]用于制造多层驻极体部件的方法有效
| 申请号： | 201580024072.2 | 申请日： | 2015-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN106463262B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | D·巴尔特伊拉;N·迈尔;E·希尔特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H01G7/02 | 分类号： | H01G7/02;H04R19/01 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于制造一种多层驻极体结构(10)的方法，包括以下的方法步骤：提供具有由导电材料构成的电极(14)的载体(12)；将第一驻极体层(16)施加到所述电极(14)上；将第二驻极体层(18)施加到所述第一驻极体层(16)上以构造所述多层驻极体结构(10)；用载流子(22)给所述第二驻极体层(18)的表面(20)或表面附近的体积区域充电；使所述多层驻极体结构(10)经受处理，其中，使所述载流子(22)流动到所述第二驻极体层(18)的体积中并且保持在所述第一驻极体层(16)与所述第二驻极体层(18)之间的边界区域中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 多层 驻极体 部件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造多层驻极体结构（10）的方法，该方法包括以下的方法步骤：a）提供具有由导电材料构成的电极（14）的载体（12）；b）将第一驻极体层（16）施加到所述电极（14）上；c）将第二驻极体层（18）施加到所述第一驻极体层（16）上以构造所述多层驻极体结构（10）；d）借助载流子（22）给所述第二驻极体层（18）的表面（20）或表面附近的体积区域充电；e）使所述多层驻极体结构（10）经受处理，其中，使所述载流子（22）流动到所述第二驻极体层（18）的体积中并且保持在所述第一驻极体层（16）与所述第二驻极体层（18）之间的边界区域中，其特征在于，由具有高的载流子热稳定性的无机介电材料构造所述第一驻极体层（16）及由具有低的载流子热稳定性的有机介电材料构造所述第二驻极体层（18），使得所述第一驻极体层（16）的载流子热稳定性比所述第二驻极体层（18）的载流子热稳定性高，其中，步骤e）为温度处理，其中，所述温度这样地选择，使得被充电的载流子（22）在所述第二驻极体层（18）的体积中具有显著的迁移率并且在所述第一驻极体层（16）中具有不显著的迁移率，使得所述被充电的载流子（22）在第二驻极体层（18）中的迁移率比在第一驻极体层（16）中的迁移率高。
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