[发明专利]使用不同波长和/或脉冲持续时间的多个激光束的多光束激光加工

摘要

可以使用具有不同特性(例如，波长和/或脉冲持续时间)的至少第一和第二激光光束，在工件上执行多光束激光加工。在一些应用中，将辅助激光光束引导至工件上或工件中的目标位置，以便修改非吸收型材料的特性。将加工激光光束引导至目标位置，并将其耦合到形成在非吸收型材料中的吸收中心，以便完成对非吸收型材料的加工。例如，多光束激光加工可以用于在由氧化铝或其他透明陶瓷制成的衬底中钻孔。在其他应用中，多光束激光加工可以用于熔接应用，诸如微熔接、焊合和形成激光烧蚀触点。在这些应用中，辅助激光光束可以用于修改所述材料的特性或改变所述部分的几何形状。

主权项

1.一种对由非吸收型材料制成的工件进行多光束激光加工的方法，其中所述非吸收型材料包括蓝宝石或玻璃，所述方法包括：产生具有第一波长和第一脉冲持续时间的辅助激光光束，其中所述工件的非吸收型材料充分吸收具有第一波长和第一脉冲持续时间的辅助激光光束，以便修改非吸收型材料的特性；产生具有第二波长和第二脉冲持续时间的加工激光光束，其中所述第一和第二波长以及第一和第二脉冲持续时间中的至少一个是不同的，且其中所述加工激光光束单独地不会在所述非吸收型材料中被充分吸收以完成对所述非吸收型材料进行加工，其中所述第一波长在514‑532nm的光谱范围内，且所述第二波长在1040‑1070nm的光谱范围内，且其中所述第一脉冲持续时间约为1ns且所述第二脉冲持续时间大于10μs；以及将辅助激光光束和加工激光光束引导至工件上的目标位置，使得辅助激光光束修改所述工件的在目标位置处形成吸收中心的非吸收型材料的特性，且使得加工激光光束被耦合到在目标位置处的非吸收型材料中形成的吸收中心，以便完成对在目标位置处的非吸收型材料的加工。