[发明专利]压力校正用夹具及基板处理装置有效
| 申请号： | 201580021724.7 | 申请日： | 2015-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN106413990B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 作川卓;高桥信行;丸山徹 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明可简化气囊的校准作业。压力校正用夹具(400)用于校正对设在用于保持晶片(W)并向研磨垫按压的顶环(31)的内部的多个气囊(310‑1～310‑3)的压力的压力校正用夹具。压力校正用夹具(400)具备：与多个气囊(310)的各个连通的多个第一流路(440‑1～440‑3)；将多个第一流路(440)合流成一个流路而连接至压力校正用的压力传感器500)的第二流路(450)；及流动控制部(410)，针对多个第一流路(440)中的被选择为压力校正用的与气囊对应的流路，可使流体由气囊(310朝第二流路(450)的方向流通，并且针对被选择的一个流路以外的流路，阻止流体由第二流路(450)朝气囊(310)的方向流动。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 校正 夹具 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压力校正用夹具，用于校正对多个气囊加压的压力，该多个气囊被设在用于保持基板并将所述基板向研磨器具按压的保持部的内部，所述压力校正用夹具的特征在于，具备：多个第一流路，与所述多个气囊中的各个气囊连通；第二流路，将所述多个第一流路合流成一个流路而连接至压力校正用的压力传感器；及流动控制部，针对所述多个第一流路中的被选择为压力校正用的与气囊对应的流路，能够使流体从所述气囊向所述第二流路的方向流通，并且针对所述被选择的一个流路以外的流路，阻止流体从所述第二流路向所述气囊的方向流动。
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