[发明专利]用于衬底的双面处理的系统及方法有效
| 申请号： | 201580018902.0 | 申请日： | 2015-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN106460164B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | T·布鲁克;V·沙阿;I·拉奇福特;A·里波萨恩 | 申请（专利权）人： | 因特瓦克公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于在等离子体室中处理衬底的系统，使得所有的衬底传输和装载/卸载操作被在大气环境中实施，但是处理被在真空环境中实施。衬底被贯穿该系统在载体上传输。该系统的室被直线地设置，使得载体从一个室直接移动到下一个室。被放置在该系统的室的上方或下方的传送装置在处理完成之后使载体返回到该系统的进口区域。载体被构造成用于支承具有不同尺寸的衬底。载体还被构造成用于翻转衬底，使得衬底的两个表面均可被进行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 双面 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在真空处理室中处理衬底的系统，包括：多个载体，每个载体都被构造成用于遍及所述系统支承和传输衬底；所述载体中的每一个都包括用于保持衬底同时暴露出每个衬底的两个表面的夹子；所述载体中的每一个在它的每一个端部处都包括两个顺磁性的共用轨道；多个磁化辊子，所述多个磁化辊子用于通过接合和磁性地保持所述共用轨道来遍及所述系统传输所述载体；翻转站，所述翻转站包括被联接于旋转轴的可旋转框架，并且其中所述多个磁化辊子的子集位于所述框架的每一端上。
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