[发明专利]用于激光维持等离子体的横向泵激的系统及方法有效
| 申请号： | 201580018142.3 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN106165061B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | I·贝泽尔;A·谢梅利宁;R·索拉兹;S·吴;M·德斯泰恩 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J63/08 | 分类号： | H01J63/08;H01J61/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于横向等离子体泵激的激光维持等离子体光源包含：泵激源，其经配置以产生泵激照明；一或多个照明光学元件；及气体围阻结构，其经配置以围阻一定体积的气体。所述一或多个照明光学元件经配置以通过沿着泵激路径将泵激照明引导到所述气体围阻结构的所述气体体积内的一或多个焦斑而在所述气体体积内维持等离子体。一或多个收集光学元件经配置以沿着收集路径收集由所述等离子体发射的宽带辐射。此外，所述照明光学元件经配置以界定所述泵激路径，使得泵激照明沿着横向于所述收集路径的所述所发射宽带光的传播方向的方向照射所述等离子体，使得所述泵激照明基本上从所述所发射宽带辐射解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 泵激 等离子体 照明光学元件 配置 宽带辐射 激光 等离子体发射 等离子体光源 传播方向 光学元件 路径收集 照明引导 泵激源 宽带光 发射 焦斑 解耦 界定 照射 | ||
【主权项】：
1.一种激光维持等离子体光源，其包括：泵激源，其经配置以产生泵激照明；一或多个照明光学元件；气体围阻结构，其经配置以围阻一定体积的气体，其中所述一或多个照明光学元件经配置以通过沿着泵激路径将泵激照明引导到所述气体围阻结构的所述气体体积内的一或多个焦斑而在所述气体体积内维持等离子体；一或多个收集光学元件，其经配置以沿着收集路径收集由所述等离子体发射的宽带辐射，其中所述一或多个照明光学元件经配置以界定所述泵激路径，使得泵激照明沿着横向于所述收集路径的所发射宽带辐射的传播方向的方向照射所述等离子体，使得所述泵激照明大体上从所述所发射宽带辐射解耦。
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