[发明专利]缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201580017049.0 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN106133504B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 新家英正 | 申请（专利权）人： | 世联股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;D05B51/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐冰冰;黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 缺陷检测装置具备对检查对象物进行保持的工件夹持装置(1)。工件夹持装置(1)具有：检查台(11)、设于检查台(11)的载置面(11a)的基座(12)和压板(13)。在载置面(11a)上的规定位置(Pt)放置了检查对象物时，基座(12)成为潜入检查对象物的松弛部(103)的背后的状态。压板(13)是将放置于规定位置(Pt)的检查对象物的至少一部分向检查台(11)按压的透明的压板。此外，压板(13)具有其被配置于按压位置时与检查台(11)的载置面(11a)接近对置的第一平板部(131)，在第一平板部(131)设有压板(13)被配置于按压位置时供基座(12)通过的开口(131a)。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，对具有局部松弛的松弛部的检查对象物所存在的缺陷进行检测，具备：工件夹持装置，对上述检查对象物进行保持；摄像部，取得保持于上述工件夹持装置的上述检查对象物的图像数据；以及缺陷检测部，基于上述图像数据或通过对上述图像数据施加图像处理而生成的处理图像数据，对上述缺陷进行检测，上述工件夹持装置，具有：检查台，具有供上述检查对象物放置的载置面；基座，设于上述检查台的上述载置面，在上述载置面上的规定位置放置了上述检查对象物时，成为潜入上述松弛部的背后的状态；以及压板，其为将放置于上述载置面上的上述规定位置的上述检查对象物的至少一部分向上述检查台按压的透明的压板，能够在按压上述检查对象物的按压位置与使上述检查对象物从按压状态释放的释放位置之间移动，上述压板具有其被配置于上述按压位置时与上述检查台的上述载置面接近对置的第一平板部，在上述第一平板部设有上述压板被配置于上述按压位置时供上述基座通过的开口。
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