[发明专利]多层并排的高分辨率图案化

摘要

提供了一种器件制作方法，该器件包括：在单个基板上的第一位置处的第一图案化器件层(31)和在第二位置处的第二图案化器件层(32)。该方法包括：在基板上沉积第一夹层(21)；图案化第一夹层(21)，由此去除在第一位置处的第一夹层；沉积第一器件层(31)；沉积第二夹层(22)；图案化第二夹层和下面的层，由此去除在第二位置处的第二夹层和下面的层；沉积第二器件层(32)；以及随后图案化第一器件层和第二器件层以形成在第一位置处的第一图案化器件层和在第二位置处的第二图案化器件层。

主权项

1.一种器件制作方法，所述器件包括：在基板(10)上的第一位置处的第一图案化器件层(311)和在第二位置处的第二图案化器件层(321)，所述方法包括：在所述基板(10)上沉积第一夹层(21)；通过光刻图案化所述第一夹层(21)，由此去除在所述第一位置处的所述第一夹层；沉积第一器件层(31)；沉积第二夹层(22)；通过光刻图案化所述第二夹层(22)和下面的层，由此去除在所述第二位置处的所述第二夹层和所述下面的层，所述下面的层包括至少所述第一器件层和所述第一夹层；沉积第二器件层(32)；以及随后通过光刻图案化所述第一器件层(31)和所述第二器件层(32)以形成在所述第一位置处的所述第一图案化器件层(311)和在所述第二位置处的所述第二图案化器件层(321)，其中通过光刻图案化所述第一器件层(31)和所述第二器件层(32)的步骤包括：在水中或者在酒精中溶解所述第一夹层(21)和所述第二夹层(22)。