[发明专利]光刻设备、用于将物体定位在光刻设备中的方法以及器件制造方法有效
| 申请号： | 201580015661.4 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN106104385B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | S·C·布勒斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻设备，包括：第一物体；第二物体，可沿移动方向相对于第一物体移动；一组缆线和/或管材，布置于所述第一物体和所述第二物体之间；引导筒，用以引导所述一组缆线和管材，所述引导筒可绕垂直于所述移动方向延伸的旋转轴线旋转；筒定位装置，用以定位所述引导筒，使得所述引导筒遵循由所述第二物体相对于所述第一物体的移动所导致的所述一组缆线和/或管材的移动；和引导结构，用以引导所述引导筒沿所述移动方向的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 用于 物体 定位 中的 方法 以及 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光刻设备，包括：第一物体；第二物体，能够相对于所述第一物体沿移动方向移动；布置于所述第一物体和第二物体之间的一组缆线和/或管材；用以引导所述一组缆线和/或管材的引导筒，所述引导筒能够绕垂直于所述移动方向延伸的旋转轴线旋转；筒定位装置，用以定位所述引导筒，使得所述引导筒遵循由所述第二物体相对于所述第一物体的移动所导致的所述一组缆线和/或管材的移动；和引导结构，用以引导所述引导筒沿所述移动方向的移动，其中所述筒定位装置包括弹簧，以将偏压力施加到所述引导筒以沿移动方向朝向所述一组缆线和/或管材推动所述引导筒；其中所述第二物体是被构造用于支撑图案形成装置的支撑件或构造用于保持衬底的衬底台。
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