[发明专利]微型图案制造装置有效

专利信息
申请号: 201580015034.0 申请日: 2015-03-20
公开(公告)号: CN106103032B 公开(公告)日: 2020-02-04
发明(设计)人: 朝政民;安光洙 申请(专利权)人: 未来奈米科技股份有限公司
主分类号: B29C41/28 分类号: B29C41/28;G03F7/00;B29C59/04
代理公司: 11384 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人: 郑青松
地址: 韩国忠*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明揭示一种微型图案制造装置。根据本发明的微型图案制造装置,其特征在于,包括:多个填充卷,在其表面上涂抹填充剂;多个支承卷,以向一侧方向移动的定型模具为标准,配置在所述填充卷的对面上;自由涂层部,在所述定型模具的图案上将所述填充剂1次填充从而形成反向图案;及主卷,使所述反向图案传送到基础器材上,所述填充卷及所述支承卷各自的中心轴不在同一垂直线上,是相互错开的。
搜索关键词: 微型 图案 制造 装置
【主权项】:
1.一种微型图案制造装置,其特征在于,包括:/n多个填充卷,在其表面上涂抹填充剂;/n多个支承卷,以向一侧方向移动的定型模具为标准,配置在所述填充卷的对面上;/n自由涂层部,将所述填充剂1次填充在所述定型模具的图案上从而形成反向图案;及/n主卷,使所述反向图案传送到基础器材上,/n所述填充卷及所述支承卷各自的中心轴不在同一垂直线上,是相互错开的;/n其中,具备多个包括至少一个所述填充卷及至少一个所述支承卷的组,且各组之间是互相间隔的;/n其中,与所述填充卷在同一个组中的支撑卷在所述填充卷的中心轴向定型模具移动方向的相反方向隔开间隔距离设置;/n其中,所述支撑卷和所述填充卷具有啮合的状态以加压穿过所述在同一个组中的支撑卷和填充卷的所述定型模具;/n其中,所述填充卷与支撑卷紧贴定型模具以加压定型模具;/n其中,具备多个包括所述填充卷及所述支承卷的组,各组在所述定型模具的移动方向平行并且串联配置,所述组中的至少一个组的高度与剩余组的高度不同;/n所述组的每组之间互相不同高度的差异是8~12mm。/n
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