[发明专利]有机薄膜形成用溶液及使用该溶液的有机薄膜形成方法

摘要

本发明的目的在于提供一种能够迅速地成膜，而且无需进行繁琐的管理就能够制造杂质少、致密的无色透明的有机薄膜的方法。使用含有由式(I)表示的有机金属化合物的有机薄膜形成用溶液形成有机薄膜，R¹_nMX_m‑n(I)(式(I)中，R¹表示可以具有取代基或连接基团的碳原子数14～30的脂肪族烃基、可以具有取代基或连接基团的碳原子数14～30的卤代脂肪族烃基，M表示选自硅原子、锗原子、锡原子、钛原子和锆原子中的至少1种金属原子，X表示羟基或‑NR²₂基，X中的至少2个表示‑NR²₂基，R²表示氢原子、可以具有取代基的碳原子数1～10的烷基、或可以具有取代基的苯基，R²彼此可以相同，也可以不同，m表示M的原子价。n表示从1到(m‑2)中的任一正整数，n为2以上时，R¹可以相同，也可以不同)。

主权项

一种由式(I)表示的有机金属化合物，R¹_nMX_m‑n  (I)式(I)中，R¹表示可以具有取代基或连接基团的碳原子数14～30的脂肪族烃基、可以具有取代基或连接基团的碳原子数14～30的卤代脂肪族烃基，M表示选自硅原子、锗原子、锡原子、钛原子和锆原子中的至少1种金属原子，X表示羟基或‑NR²₂基，X中的至少2个表示‑NR²₂基，R²表示氢原子、可以具有取代基的碳原子数1～10的烷基、或可以具有取代基的苯基，R²彼此可以相同，也可以不同，m表示M的原子价，n表示从1到(m‑2)中的任一正整数，n为2以上时，R¹可以相同，也可以不同。