[发明专利]研磨垫及玻璃基底研磨方法

摘要

问题：为了提供当应用于研磨玻璃基底的表面时能够延长研磨垫的寿命并且可确保适合于研磨玻璃基底表面的研磨能力的研磨垫和使用研磨垫的研磨方法。解决方法：一种用于研磨玻璃基底的表面的研磨垫，该研磨垫包括基体材料层和设置在基体材料层的一侧上的磨料层，该磨料层包括彼此分开布置在基体材料层上的多个柱形研磨部分，该研磨部分由包括了抛光磨料颗粒、填料和粘结剂树脂的磨料制成，该抛光磨料颗粒包括磨料颗粒和玻璃基质，并且该填料包括当表面被研磨时破裂或脱落从而在研磨部分的顶面中形成近似球冠形的凹陷部的第一填料。

主权项

一种用于研磨玻璃基底的表面的研磨垫，所述研磨垫包括：基体材料层；以及设置在所述基体材料层的一侧上的磨料层，所述磨料层包括彼此分开布置在所述基体材料层上的多个柱形研磨部分，所述研磨部分由磨料制成，所述磨料包括抛光磨料颗粒、填料和粘结剂树脂，所述抛光磨料颗粒包括磨料颗粒和玻璃基质，以及所述填料包括第一填料，当所述表面被研磨时所述第一填料破裂或脱落，从而在所述研磨部分的顶面形成大体上球冠形凹陷部。