[发明专利]衬底运输设备在审
| 申请号： | 201580014344.0 | 申请日： | 2015-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN106103011A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | R.T.卡夫尼 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J18/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 吴超;张昱 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种运输设备，其包括框架；连接到所述框架的驱动部段，所述驱动部段具有至少一个驱动轴线；至少一个臂，其具有构造成用于保持衬底的端部执行器，所述至少一个臂通过传动连杆连接到所述驱动部段并且具有实现所述端部执行器相对于所述至少一个臂延伸和缩回的至少一个自由度轴线；以及连接到所述框架和所述端部执行器的轴承，所述轴承限定导轨，所述导轨限定所述至少一个自由度轴线。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 运输设备 | ||
【主权项】：
一种运输设备，其包括：框架；连接到所述框架的驱动部段，所述驱动部段具有至少一个驱动轴线；至少一个臂，所述至少一个臂具有构造成用于保持衬底的端部执行器，所述至少一个臂通过传动连杆连接到所述驱动部段并且具有实现所述端部执行器相对于所述至少一个臂延伸和缩回的至少一个自由度轴线；以及连接到所述框架和所述端部执行器的轴承，所述轴承限定导轨，所述导轨限定所述至少一个自由度轴线。
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