[发明专利]用于快速脉冲气体输送的系统和方法

摘要

一种用于将所需质量气体的脉冲输送到工具的系统，其包括：质量流量控制器，质量流量控制器包括流量传感器、控制阀和专用的控制器，所述控制器配置和布置成接收一系列步骤的修整法，用于打开和关闭控制阀以便作为修整法的函数输送气体脉冲序列。质量流量控制器配置和布置成以至少两种模式中的任一种来操作：作为传统的质量流量控制器(MFC)模式或以脉冲气体输送(PGD)模式。此外，质量流量控制器包括配置成接收输入信号的输入部；配置成提供输出信号的输出部；配置成接收程序指令的通信端口；存储器，其配置和布置成接收编程数据，编程数据确定质量流量控制器的编程配置为数字配置或模拟配置；和用于根据编程配置来操作质量流量控制器的处理器/控制器。

主权项

1.一种可编程的质量流量控制器，其包括：配置成接收输入信号的输入部；配置成提供输出信号的输出部；通信端口，其配置成接收程序指令和编程数据，程序指令包括与质量流量控制器的编程配置相关的指令，其中编程配置阐明质量流量控制器响应的信号类型；流量传感器，其配置成感测通过质量流量控制器的气体流量；控制阀，其配置成控制通过质量流量控制器的气体流量；存储器，其配置和布置成接收编程数据，所述编程数据确定所述质量流量控制器的编程配置为数字配置或模拟配置，质量流量控制器在所述数字配置下响应数字信号，质量流量控制器在所述模拟配置下响应模拟信号；和处理器/控制器，其配置和布置成根据编程配置来操作质量流量控制器；其中，输出信号表示同步信号，其用于将脉冲序列的输送时序与另一装置的操作同步。