[发明专利]压差传感器

摘要

一种压差传感器包括压力感测基座，该压力感测基座包括半导体基座，其具有形成膜的减薄部分。膜包括压阻元件，其呈现基于施加在膜上的力的变化的阻抗。第一支撑结构连结到半导体基座的第一表面，具有限定为通过该支撑结构的孔，使得膜的第一表面通过该孔而暴露。第二支撑结构类似地连结到半导体基座的相反侧。与压阻元件电连通的电气部件布置在由第一和第二支撑元件与半导体基座之间的连结部限定的区域之外。油填充的空间可被限定在半导体基座和恶劣的媒介之间，其将流体压力传递至基座，而恶劣的媒介没有接触基座。

主权项

一种压差传感器(400)，包括：压差感测基座(300)，具有半导体基座(310)，所述半导体基座包括一体式的感测膜(313)，压阻元件(365)限定在所述感测膜上，第一支撑结构(301)连结至所述半导体基座的表面，所述第一支撑结构具有限定为从其通过的第一孔(307)，通过所述第一孔暴露所述感测膜，以及第二支撑结构(303)连结至所述半导体基座的相反表面，所述第二支撑结构具有限定为从其通过的第二孔(309)，通过所述第二孔暴露所述感测膜；上壳体(401)，限定上内部空间(405、406)，所述上内部空间与所述第一孔流体连通，并且具有限定所述上内部空间的壁的上柔性膜(403)；下壳体(411)，限定下内部空间(408、415)，所述下内部空间与所述第二孔流体连通，并且具有限定所述下内部空间的壁的下柔性膜(413)；以及联接到所述压阻元件的电子电路(419)，用于确定施加到所述感测膜的压差，所述电子电路在所述半导体基座上、处于所述第一支撑结构和所述第二支撑结构的外部以及所述上内部空间和下内部空间的外部。