[发明专利]用于组合式明场、暗场及光热检验的设备及方法有效
| 申请号： | 201580008360.9 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN106030292B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | L·尼古拉德斯;M·马哈德凡;A·萨利尼克;S·A·永 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/39;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示用于在半导体样本中检测缺陷或复检缺陷的方法及设备。系统具有明场BF模块，所述BF模块用于将BF照明光束引导到样本上并检测响应于所述BF照明光束而从所述样本反射的输出光束。所述系统具有经调制光反射比MOR模块，所述MOR模块用于将泵浦光束及探测光束引导到所述样本并检测响应于所述泵浦光束及所述探测光束而来自探测光点的MOR输出光束。所述系统包含处理器，所述处理器用于分析来自多个BF光点的所述BF输出光束以检测所述样本的表面上或接近所述表面的缺陷，并分析来自多个探测光点的所述MOR输出光束以检测在所述样本的所述表面以下的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 组合式 暗场 光热 检验 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在半导体样本中检测缺陷或复检缺陷的系统，所述系统包括：明场BF模块，其用于将BF照明光束引导在样本上的BF光点上并检测响应于所述BF照明光束被引导在所述BF光点上而从所述样本上的所述BF光点反射的输出光束；经调制光反射比MOR模块，其用于将泵浦光束引导到所述样本上的泵浦光点、将探测光束引导到所述样本上的探测光点及检测响应于所述泵浦光束及所述探测光束而来自所述探测光点的MOR输出光束，其中所述探测光点与所述泵浦光点重合；及处理器，其可操作以执行或引起以下操作：致使所述BF模块用所述BF照明光束在所述样本上的多个BF光点上进行扫描并检测来自所述多个BF光点的输出光束；致使所述MOR模块分别用所述泵浦光束及所述探测光束在多个泵浦光点及探测光点上进行扫描，并检测来自所述多个探测光点的MOR输出光束；分析来自所述多个BF光点的所述BF输出光束以检测所述样本的表面上或接近所述表面的一或多个缺陷；及分析来自所述多个探测光点的所述MOR输出光束以检测在所述样本的所述表面以下的一或多个缺陷。
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