[发明专利]用于施加传导的纳米颗粒到基质上的装置有效
| 申请号： | 201580007787.7 | 申请日： | 2015-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN105960299B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | M.H.阿兹达斯特 | 申请（专利权）人： | 智能封装有限责任公司技术服务 |
| 主分类号： | B22F3/00 | 分类号： | B22F3/00;B22F7/04;C23C26/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杨国治;张昱 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于施加金属的纳米颗粒到晶片或者其它基质上的装置，其特征在于具有在液体储存器中布置的金属‑或者半导体件；用于在液体储存器中在液体内部从金属‑或者半导体件中去除纳米颗粒的激光器或微粒辐射器；以及用于施加包含去除的金属颗粒的液体到基质上的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 施加 传导 纳米 颗粒 基质 装置 | ||
【主权项】：
1.用于施加金属的或者半导体材料的纳米颗粒到晶片或者其它基质（110）上的装置，具有(a) 具有液体的液体储存器；(b) 在所述液体储存器中布置的金属或者半导体件；(c) 用于在所述液体储存器中在所述液体内部从所述金属或者半导体件中去除纳米颗粒的激光器（13）；以及(d) 用于施加包含被去除的纳米颗粒的液体到所述基质上的机构（100）；其特征在于，(e) 所述晶片或者其它基质（110）布置在所述液体储存器外；(f) 所述液体（1、10）由能够硬化的聚合体形成；(g) 在腔室的锥状地逐渐变细的下部的端部处的毛细管或者喷嘴（100），用于涂覆所述包含所述纳米颗粒的液体到所述基质（110）上，所述腔室与所述液体储存器流体连接，其中，金属或者半导体件在所述液体储存器中布置在所述喷嘴（100）之前的区域中；以及h) 产生流动的机构（17、30、50），用于在如下的区域中产生液体流动，在所述区域中所述纳米颗粒从所述金属或者半导体件中去除。
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