[发明专利]圆筒形溅射靶用靶材的制造方法和圆筒形溅射靶有效
| 申请号： | 201580002336.4 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105683408B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 石田新太郎 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B24B5/12;C04B35/00;C04B41/80 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及的圆筒形溅射靶用靶材的制造方法包括外周面磨削工序、内周面磨削工序和精磨工序。在外周面磨削工序中，对陶瓷制的溅射靶材的外周面进行磨削。在内周面磨削工序中，对溅射靶材的内周面进行磨削。在精磨工序中，在外周面磨削工序和内周面磨削工序中的至少一个工序中，以2个以上的磨削方向进行磨削。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 溅射 靶用靶材 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种圆筒形溅射靶用靶材的制造方法，其特征在于，包括：外周面磨削工序，对陶瓷制的溅射靶材的外周面进行磨削；内周面磨削工序，对所述溅射靶材的内周面进行磨削；以及精磨工序，在所述外周面磨削工序和所述内周面磨削工序中的至少一个工序中，以2个以上的磨削方向进行磨削，在所述精磨工序中，对所述溅射靶材进行磨削的所述2个以上的磨削方向以0.3°以上6°以下的角度交叉，所述精磨工序后的表面粗糙度Ra为1.5μm以下。
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