[发明专利]具有热隔离和热限制的支柱的集成热光开关有效
| 申请号： | 201580001656.8 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN105492944B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 德瑞坦·瑟娄 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种关于具有热隔离和热限制支柱的热光开关的系统和方法，该系统和方法能够增加光子集成芯片(PICs)的集成度、降低功耗、提高开关速度，并延长芯片寿命。本发明实施例的一种热光开关包括一光波导；与所述光波导的表面热接触的电阻加热器；以及连接于所述光波导的侧面的多个热流动限制支柱，所述多个热流动限制支柱支撑所述光波导，以使所述光波导通过所述光波导与位于所述光波导下方的衬底之间形成的间隙与所述衬底实质上热隔离，所述支柱限制热量从所述光波导流向支撑所述支柱的支撑结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 隔离 限制 支柱 集成 开关 | ||
【主权项】：
1.一种热光开关，其特征在于，包括：光波导；与所述光波导的表面热接触的加热电阻丝；以及连接于所述光波导的侧面的多个热流动限制支柱，所述多个热流动限制支柱支撑所述光波导，以使所述光波导通过所述光波导与位于所述光波导下的衬底之间形成的间隙与所述衬底实质上热隔离，所述支柱限制热量从所述光波导流向支撑所述支柱的支撑结构，各所述支柱靠近所述光波导的表面小于各所述支柱远离所述光波导的表面。
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