[发明专利]一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法

摘要

一种可检测21项几何误差的激光测量系统，其几何误差敏感单元包括三个相互垂直的六自由度误差敏感部件，以分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机的三个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感；或者，所述几何误差敏感单元由两个相互垂直的六自由度误差敏感部件组成，所述两个六自由度误差敏感部件分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机的两个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感，所述两个六自由度误差敏感部件之中的一个六自由度误差敏感部件旋转90°之后对数控机床、加工中心或三坐标测量机的第三个直线运动轴的六项几何误差敏感。本发明结构简单、操作方便，一次安装、分步测量，可得到三个相互垂直的直线运动导轨的21项几何误差。

主权项

一种可检测21项几何误差的激光测量系统，由激光六自由度误差同时测量单元、激光光线转向单元和几何误差敏感单元组成；其特征在于，所述激光六自由度误差同时测量单元与所述几何误差敏感单元配合使用，分别测量得到数控机床、加工中心或三坐标测量机的三个直线运动导轨或运动台的三轴位置误差、水平和竖直方向直线度误差、俯仰角、偏摆角、滚转角共6项几何误差，三轴共计18项误差；所述激光光线转向单元将来自所述激光六自由度误差同时测量单元的激光光束分光或转向到平行于数控机床、加工中心或三坐标测量机的三轴的方向上，并将来自所述几何误差敏感单元的激光光束分光或转向到所述激光六自由度误差同时测量单元，完成对应轴的六自由度误差同时测量，同时通过三轴直线度误差的数据处理得到三轴相互之间的垂直度误差，所述几何误差敏感单元包括三个相互垂直的六自由度误差敏感部件，所述三个六自由度误差敏感部件分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机的三个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感；或者，所述几何误差敏感单元由两个相互垂直的六自由度误差敏感部件组成，所述两个六自由度误差敏感部件分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机的两个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感，所述两个六自由度误差敏感部件之中的一个六自由度误差敏感部件旋转90°之后对数控机床、加工中心或三坐标测量机的第三个直线运动轴的六项几何误差敏感。