[实用新型]用于放置超薄硅圆片的托盘及具有该托盘的料盒

摘要

本实用新型公开一种用于放置超薄硅圆片的托盘，托盘的端面上设有圆形凹槽，凹槽的内径与硅圆片的直径相吻合，托盘的边缘开设有缺口。具有该托盘的料盒，包括盒体，盒体的一对侧面为开口，盒体的另一对侧面的内壁上设有多对卡槽，托盘通过卡槽安装在盒体内。本实用新型在料盒中使用托盘来放置厚度小于200μm的超薄硅圆片，托盘将各个硅圆片进行隔离，避免单个硅圆片的破碎损坏其他的硅圆片；超薄的硅圆片放置在凹槽中受到承载，不会弯曲变形，同时还可避免受到烘箱内气流的影响；凹槽的内径与硅圆片的直径相吻合，使硅圆片能够完全放置在凹中并且不会有晃动的空间，防止运输震动损坏超薄硅圆片。

主权项

用于放置超薄硅圆片的托盘，其特征在于，所述托盘的端面上设有圆形凹槽，所述凹槽的内径与硅圆片的直径相吻合，所述托盘的边缘开设有缺口。