[实用新型]一种用于硅片插片机的输送带

摘要

一种用于硅片插片机的输送带，包括第一输送带、第二输送带、第三输送带和第四输送带，所述第一输送带和第二输送带依次设置，所述第三输送带和第四输送带依次设置，所述第二输送带和第三输送带成夹角设置；所述第三输送带朝向第二输送带的侧边与第二输送带端部的间隙的距离小于硅片的尺寸，相对的另一侧边设有硅片挡板，该硅片挡板朝向所述第二输送带的侧部设有柔性材料层；所述第二输送带的上方设有硅片检测装置，该硅片检测装置与一控制系统信号连接；所述第三输送带对应所述第四输送带相反的一端设有废片储盒；所述控制系统与所述第三输送带的驱动马达电连接。本实用新型在输送硅片时，具有对硅片损害小的优点。

主权项

一种用于硅片插片机的输送带，其特征在于：包括第一输送带、第二输送带、第三输送带和第四输送带，所述第一输送带和第二输送带依次设置，所述第三输送带和第四输送带依次设置，所述第二输送带和第三输送带成夹角设置；所述第三输送带朝向第二输送带的侧边与第二输送带端部的间隙的距离小于硅片的尺寸，相对的另一侧边设有硅片挡板，该硅片挡板朝向所述第二输送带的侧部设有柔性材料层；所述第二输送带的上方设有硅片检测装置，该硅片检测装置与一控制系统信号连接；所述第三输送带对应所述第四输送带相反的一端设有废片储盒；所述控制系统与所述第三输送带的驱动马达电连接。