[实用新型]装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器有效
| 申请号： | 201521100149.3 | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN205435213U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 冯五裕 | 申请（专利权）人： | 东服企业股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括一器壳，内部形成一提供含藏有水分子及粉尘的气体通过的腔室，且该腔室内以能抽取方式植入至少一过滤箱，该过滤箱内设有用来过滤气体中水分子及粉尘的多个捕集环及一过滤棉，该气体依序通过捕集环及过滤棉，藉以改善传统粉尘过滤器的结构复杂且不易清洗的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 装设 半导体 废气 处理 设备 中的 粉尘 过滤器 | ||
【主权项】：
一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，其特征在于其包括：一器壳，其内部形成一提供含藏有水分子及粉尘的气体通过的腔室；及至少一过滤箱，以能抽取方式植入于该腔室内，该过滤箱内设有用来过滤气体中水分子及粉尘的多个捕集环及一过滤棉，该气体依序通过该捕集环及过滤棉。
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