[实用新型]刻蚀机台用排风罩有效
申请号: | 201521097636.9 | 申请日: | 2015-12-24 |
公开(公告)号: | CN205289189U | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 罗松奎 | 申请(专利权)人: | 苏州同冠微电子有限公司 |
主分类号: | B08B15/00 | 分类号: | B08B15/00 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 曹军 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种刻蚀机台用排风罩,包括罩体和控制阀,所述罩体由送风部和通风管构成,所述控制阀设置在通风管上。本实用新型可以与厂区的排风管直接连通,通过排风管将有害气体排出车间,净化生产空间的空气,避免有害气体对人的伤害。 | ||
搜索关键词: | 刻蚀 机台 用排风罩 | ||
【主权项】:
一种刻蚀机台用排风罩,其特征在于,包括罩体和控制阀,所述罩体由送风部和通风管构成,所述控制阀设置在通风管上。
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