[实用新型]一种曝光质量好的曝光装置有效

专利信息
申请号: 201521095867.6 申请日: 2015-12-25
公开(公告)号: CN205247060U 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 莫军;李德东 申请(专利权)人: 遂宁威士凯科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
地址: 629000 四川省遂宁*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种曝光质量好的曝光装置,它包括工作台和曝光室,曝光室与工作台连接为一体,其特征在于:它还包括选择平台,旋转平台位于工作台上方,且可相对工作台转动,在旋转平台的底部设置有一转轴,转轴连接有一驱动电机,驱动电机安装台工作台内,旋转平台上方对称设置有曝光平台,工作台内还设置有一控制器,控制器与驱动电机电连接,曝光室内的顶部设置有若干曝光灯,在曝光灯的周围设置有反光罩,在曝光室内还设置有多个光照测试仪,光照测试仪与控制器电连接。本实用新型的有益效果是:它具有生产效率高、光照强度稳定和曝光质量好的优点。
搜索关键词: 一种 曝光 质量 装置
【主权项】:
一种曝光质量好的曝光装置,它包括工作台(1)和曝光室(3),所述的曝光室(3)与工作台(1)连接为一体,其特征在于:它还包括旋转平台(2),所述的旋转平台(2)位于工作台(1)上方,且可相对工作台(1)转动,在旋转平台(2)的底部设置有一转轴(5),转轴(5)连接有一驱动电机(6),所述的驱动电机(6)安装台工作台(1)内,所述的旋转平台(2)上方对称设置有曝光平台(7),所述的工作台(1)内还设置有一控制器(8),所述的控制器(8)与驱动电机(6)电连接,所述的曝光室(3)内的顶部设置有若干曝光灯(4),在曝光灯(4)的周围设置有反光罩(9),在曝光室(3)内还设置有多个光照测试仪(10),所述的光照测试仪(10)与控制器(8)电连接。
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