[实用新型]一种基于石墨烯的微测辐射热计有效
| 申请号： | 201521087866.7 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN205607540U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 杨俊;汤林龙;冯双龙;魏兴战;史浩飞;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;H01L31/09 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于石墨烯的微测辐射热计，所述石墨烯微测辐射热计包括硅基底(101)、悬空孔(102)、悬空支撑层(103)、金属电极引线(104)、石墨烯红外敏感层(105)、石墨烯保护层(106)、悬空支撑层微孔(107)。该微测辐射热计采用石墨烯作为宽波段红外吸收敏感层，采用悬空支撑层微孔结构提高了红外探测灵敏度，结构简单，成本低，且具有优异的非制冷宽波段红外探测性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 辐射热 | ||
【主权项】：
一种石墨烯微测辐射热计，包括硅基底、悬空孔、悬空支撑层、金属电极引线、红外敏感层、石墨烯保护层、悬空支撑层微孔，其特征在于：所述的硅基底为常规半导体硅片，硅基底上面分布有悬空孔；所述的悬空支撑层，置于悬空孔上方，厚度为20nm～5μm；所述的金属电极引线位于悬空支撑层的上方，且位于红外敏感层的两侧；所述的红外敏感层是采用石墨烯作为宽波段红外吸收敏感层，红外敏感层置于悬空支撑层上方，且两端与金属电极引线连接，石墨烯的厚度为5nm～1000nm，石墨烯的形态包括石墨烯薄膜、石墨烯纳米墙以及石墨烯微片；所述的石墨烯保护层，位于红外敏感层的正上方，其厚度为10nm～500nm；所述的悬空支撑层微孔为矩形盲孔，均匀分布于悬空支撑层中，深度为1μm～100μm。
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