[实用新型]复合式匀气装置

摘要

本实用新型涉及薄膜制备工艺的技术领域，公开了一种复合式匀气装置，其安装于化学气相沉积系统或原子层沉积系统的腔体中，该腔体具有内腔，以及连通其内腔的进气口和出气口，该匀气装置包括匀气环、匀气盘组及进气管，匀气盘组设置于内腔中并位于进气口和出气口上，匀气环设置于进气口的外缘，进气管的一端穿过腔体并与匀气环连通。本实用新型提出的复合式匀气装置，在进气口设置匀气环，并在腔体的进气口和出气口设置匀气盘组，通过调整匀气盘组上通气孔大小以控制不同位置的气体流量，不仅提高了进气的均匀性，还解决了因出气口位置、大小及泵抽速不同所引起的出气不均匀的问题，同时也提高了出气的均匀性，从而有效地保证了膜层厚度的均匀性。

主权项

复合式匀气装置，安装于化学气相沉积系统或原子层沉积系统的腔体中，所述腔体具有内腔，以及连通所述内腔的进气口和出气口，其特征在于，所述复合式匀气装置包括匀气环、匀气盘组以及进气管，所述匀气盘组设置于所述内腔中并位于所述进气口和所述出气口上，所述匀气环设置于所述进气口的外缘，所述进气管的一端穿过所述腔体并与所述匀气环连通。