[实用新型]一种基于光学倍频的纳米位移计量传感器及检测仪

摘要

本实用新型提出一种基于光学倍频的纳米位移计量传感器及检测仪，包括激光器、偏振分光棱镜、1/4玻片、角锥棱镜、平面反射镜、偏振片、光电探测器和底座。本实用新型的传感器采用光学倍频技术，直接在光学结构上将光程差进行8细分，同时采用偏振分光棱镜和1/4玻片组合减少了光能损失，保证了干涉条纹的强度，具有结构简单，精度高，测量范围大，抗干扰能力强等特点，并且相比于单路光束系统在某种程度上可减小非直线运动所造成的误差。基于该传感器，本实用新型还提出一种基于光学倍频的纳米位移检测仪。

主权项

一种基于光学倍频的纳米位移计量传感器，包括偏振分光棱镜(2)、1/4玻片(9)、第一平面反射镜(5)、第二平面反射镜(8)，第一角锥棱镜(3)、第二角锥棱镜(6)、第三角锥棱镜(7)、第四角锥棱镜(10)和偏振片(11)，其特征在于：所述的偏振分光棱镜(2)居中置放于两个镜面平行相对的第一角锥棱镜(3)和第四角锥棱镜(10)之间，第一、第四角锥棱镜的结构尺寸相同、且反射面均平行于偏振分光棱镜(2)；所述1/4玻片(9)安装在偏振分光棱镜(2)的正下部，1/4玻片工作面与偏振分光棱镜(2)底边平行，1/4玻片光学中心轴到第一、第四角锥棱镜的镜面等距，其下方平行设置有左右对称第一平面反射镜(5)、第二平面反射镜(8)；第一平面反射镜(5)下方设有第二角锥棱镜(6)，第二平面反射镜(8)下方设有第三角锥棱镜(7)；所述第二、第三角锥棱镜结构和尺寸相同，共同固定在上下运动部件上，第二、第三角锥棱镜(6、7)镜面共面且均向上分别与第一、第二平面反射镜的镜面相对；偏振片(11)安装在偏振分光棱镜(2)的上部；偏振片(11)、1/4玻片(9)、第二、第三角锥棱镜镜面和第一、第二平面反射镜的镜面相互平行；所述偏振分光棱镜(2)上部的一端用于激光入射，另一端正对偏振片(11)，为激光出射部。